產(chǎn)品介紹：

名  稱：高精密勻膠機(jī)

型  號：SC100-SE

原產(chǎn)地：美國，USA

應(yīng)  用：SC100-SE標(biāo)準(zhǔn)型精密勻膠機(jī)是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，它可以實現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備（track）的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。

產(chǎn)品概述：

　　SC100-SE標(biāo)準(zhǔn)型精密勻膠機(jī)是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，它可以實現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備（track）的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。
　　不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業(yè)級別200瓦伺服電機(jī)系統(tǒng)，采用與track設(shè)備相同設(shè)計和程序，使您的工藝更具有實際應(yīng)用意義；同類產(chǎn)品中的zui大達(dá)到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度，確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和*的可重復(fù)性。

性能參數(shù)：

l  主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）

l  旋涂程序：zui多可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒

l  轉(zhuǎn)動速度：0-10,000rpm（更高速可選）

l  旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）

l  馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm

l  轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm

l  重復(fù)性< 1rpm

l  工藝時間設(shè)定： 0-3,000 sec/step

l  時間設(shè)置精度：0.1sec

l  支持wafer尺寸1cm-200mm（8”圓晶）

l  旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）

產(chǎn)品特點：

l  的內(nèi)部緊湊設(shè)計，縮小了設(shè)備的尺寸。

l  7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。

l  on ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計可適合各種材料勻膠工藝。

l  標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速10000rpm，并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。

l  采用工業(yè)級別伺服電機(jī)，電機(jī)設(shè)計避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。

l  機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，*生銹，便于清洗。

l  排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計于載片臺之底部（以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性）。

l  透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

產(chǎn)品外型尺寸：
       433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備結(jié)構(gòu)